TY  - BOOK
AU  - Березин,А.С.
AU  - Мочалкина,О.Р.
TI  - Технология и конструирование интегральных микросхем: Учебное пособие для вузов
PY  - 1983///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
ER  -