TY - BOOK AU - Сергеев,В.С. AU - Кузнецов,О.А. AU - Захаров,Н.П. AU - Летягин,В.А. TI - Напряжения и деформации в элементах микросхем PY - 1987/// CY - М. PB - Радио и связь KW - Микроэлектронные схемы интегральные KW - Деформация ER -