TY  - BOOK
AU  - Моряков,О.С.
TI  - Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: учебник для ПТУ
PY  - 1981///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
ER  -