TY  - BOOK
AU  - Моряков,О.С.
TI  - Вакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве: учебное пособие для проф.-техн. учеб. заведений
PY  - 1974///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
ER  -