TY  - BOOK
AU  - Мокеев,О.К.
AU  - Романов,А.С.
TI  - Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и материалов: Учебное пособие для студентов средних специальных учебных заведений
PY  - 1979///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
ER  -