М 749
      Мокеев,О. К.
      Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и материалов Учебное пособие для студентов средних специальных учебных заведений О. К. Мокеев, А. С. Романов — М. Высшая школа 1979 — 272 с.: ил.