TY  - BOOK
AU  - Терпстра,М.
TI  - Материалы для полупроводниковых приборов: обзор пат. исследования : пер. с англ
SN  - 522900729X
PY  - 1991///
CY  - М.
PB  - Металлургия
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - Полупроводниковые материалы
KW  - Патенты
ER  -