TY  - BOOK
AU  - Мазель,Е.З.
AU  - Пресс,Ф.П.
TI  - Планарная технология кремниевых приборов
PY  - 1974///
CY  - М.
PB  - Энергия
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
ER  -