TY  - BOOK
AU  - Антонов,В.А.
TI  - технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов: учебное пособие для вузов по спец. "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение"
PY  - 1979///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
N1  - Библиогр.: с. 365 (18 назв.)
ER  -