TY  - BOOK
AU  - Курносов,Анатолий Иванович
AU  - Юдин,Владимир Васильевич
TI  - Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учебное пособие для студентов вузов 
PY  - 1986///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
ER  -