TY  - BOOK
AU  - Карбань,В.И.
AU  - Борзаков,Ю.И.
TI  - Обработка монокристаллов в микроэлектронике
SN  - 5256001396
PY  - 1988///
CY  - М.
PB  - Радио и связь
ER  -