TY  - BOOK
AU  - Дубовой,Н.Д.
AU  - Осокин,В.И.
AU  - Очков,А.С.
AU  - Сазонов,А.А.
TI  - Измерения и контроль в микроэлектронике: Учебное пособие для студентов вузов
PY  - 1984///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Контроль
ER  -