TY  - BOOK
AU  - Зебрев,Г.И.
TI  - Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для студентов вузов
SN  - 9785996301812
PY  - 2011///
CY  - М.
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
ER  -