TY  - BOOK
AU  - Галперин,В.А.
AU  - Данилкин,Е.В.
AU  - Мочалов,А.И.
TI  - Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для студентов вузов
SN  - 9785996300327
PY  - 2010///
CY  - М.
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
ER  -