Г 167       Галперин,В. А.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для студентов вузов В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов — М. БИНОМ. Лаборатория знаний 2010 — 284 с. ISBN:  9785996300327