TY  - SER
AU  - Таиров,Ю.М.
AU  - Цветков,В.Ф.
TI  - Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: учебник для студентов вузов
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
ER  -