TY  - SER
AU  - Семенов,Ю.Г.
TI  - Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.
PY  - 1990///
CY  - М.
PB  - Высшая школа
ER  -