Т 384
      Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. Кн.4, Механическая и химическая обработка С. Н. Никифорова-Денисова — М. Высшая школа 1989 — 94 с.