Технологія електронної техніки: навчальний посібник для студентів вузів : у 2-х т./ Готра, Зенон Юрійович;З. Ю. Готра. Т. 1

За: Інтелектуальна відповідальність: Вид матеріалу: Текст Текст Мова: українська Публікація: Львів: Львівська політехніка 2010Опис: 886 сТип вмісту:
  • текст
Тип засобу:
  • прямий доступ
Тип носія:
  • аркуш
ISBN:
  • 9789665538820
Інша класифікація:
  • 32.85я73
Електронне місцезнаходження та доступ: Зведення: Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки. Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка".
Мітки з цієї бібліотеки: Немає міток з цієї бібліотеки для цієї назви. Ввійдіть, щоб додавати мітки.
Оцінки зірочками
    Середня оцінка: 0.0 (0 голос.)
Фонди
Тип одиниці зберігання Поточна бібліотека Шифр зберігання Стан Очікується на дату Штрих-код
Книга, брошура Відділ документів технічних та природничих наук (читальний зал) Доступно

Описано основні технологічні процеси електронної техніки: вирощування монокристалів, механічну, фізико-хімічну обробку матеріалів та напівпровідникових структур. Розглянуто процеси дифузії, епітаксії, іонної імплантації, лазерної, плазмової та електронно-променевої обробки. Описані технологія фото-, електроно-, рентгенолітографії, тонких, товстих плівок, створення наноструктур, а також монтаж та герметизація. Висвітлено методи отримання вакууму та контролю в технології електронної техніки. Рекомендований для студентів вищих навчальних закладів, які навчаються за напрямом "Електроніка".