Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов

     
      Д 182
      Данилин,Б. С.
      Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев — М. Энергоатомиздат 1987 — 262 с.: ил.