Технология обработки поверхностей в микроэлектронике

     
      П 528
      Полтавцев,Ю. Г.
      Технология обработки поверхностей в микроэлектронике Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев — К. Техника 1990 — 205 с.
5335005726