Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем

     
      Б 90
      Бубенников,А. Н.
      Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем А. Н. Бубенников — М. Высшая школа 1989 — 319 с.: ил.