Оборудование полупроводникового производства учебное пособие для вузов

     
      Б 695
      Блинов,И. Г.
      Оборудование полупроводникового производства учебное пособие для вузов И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов — М. Машиностроение 1986 — 262 с.: ил.