Осаждение из газовой фазы сокр. пер. с англ.

     
      О-72
      Осаждение из газовой фазы сокр. пер. с англ. Дж. Блочер, А. Лунэм, Дж. Детторр ; ред. К. Пауэлл — М. Атомиздат 1970 — 472 с.