Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств

     
      Б 825
      Борисенко,А. С.
      Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин — М. Машиностроение 1983 — 319 с.: рис.