Оптические основы контактной фотолитографии

     
      Б 484
      Березин,Г. Н.
      Оптические основы контактной фотолитографии Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис — М. Радио и связь 1982 — 103 с.: ил.