Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и материалов Учебное пособие для студентов средних специальных учебных заведений
|
М 749 Мокеев,О. К. | |
|
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и материалов Учебное пособие для студентов средних специальных учебных заведений
О. К. Мокеев, А. С. Романов — М. Высшая школа 1979 — 272 с.: ил. |