Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств

     
      К 659
      Копыл,Г. Ф.
      Основы технологии и оборудование производства микроэлектронных устройств Г. Ф. Копыл — К. Вища школа 1992 — 414 с.: ил.