Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для студентов вузов /

     
      К934
      Курносов, Анатолий Иванович,
      Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для студентов вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. — Издание третье, переработанное и дополненное. — М. : Высшая школа, 1986. — 368 с.