Обработка монокристаллов в микроэлектронике

     
      К 217
      Карбань,В. И.
      Обработка монокристаллов в микроэлектронике В. И. Карбань, Ю. И. Борзаков — М. Радио и связь 1988 — 103 с.: ил.
5256001396