Технология производства интегральных микросхем учебное пособие для студентов вузов

     
      Ч-498
      Черняев,В. Н.
      Технология производства интегральных микросхем учебное пособие для студентов вузов В. Н. Черняев — М. Энергия 1977 — 373 с.