Измерения и контроль в микроэлектронике Учебное пособие для студентов вузов

     
      И 374
      Измерения и контроль в микроэлектронике Учебное пособие для студентов вузов Н. Д. Дубовой, В. И. Осокин, А. С. Очков ; ред. А. А. Сазонов — М. Высшая школа 1984 — 367 с.: ил.