Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. Кн.7, Элионная обработка

     
      Т 384
      Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. Кн.7, Элионная обработка О. С. Моряков — М. Высшая школа 1990 — 125 с.