Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. Кн.6, Нанесение пленок в вакууме
|
Т 384 | |
|
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники учеб. для ПТУ : в 10-ти кн.. Кн.6, Нанесение пленок в вакууме
В. Е. Минайчев — М. Высшая школа 1989 — 109 с. |