Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность Учебное пособие для студентов вузов

     
      Е 912
      Ефимов,И. Е.
      Микроэлектроника: физические и технологические основы, надежность Учебное пособие для студентов вузов И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов — 2-е изд., перераб. и доп. — М. Высшая школа 1986 — 463 с.: ил.